淺聊半導體行業超精密（mì）加工（gōng）
　　伴隨中國半（bàn）導（dǎo）體設（shè）備的（de）發展，對於我們的加工要求越來越高，過去我們加工0.01mm的精度已經非常難了，但（dàn）現在（zài）出現了很多零件加工，精度動不動要求（qiú）幾個um，在這種情況下很多時候，我們靠普（pǔ）通設備，隻能通過人員（yuán）的技術水平和經驗，做出來，但很難進行穩定生產。也有很多朋友和客戶在（zài）向（xiàng）老易谘詢半（bàn）導（dǎo）體行業的加工，怎麽樣滿足半（bàn）導體（tǐ）行業零件的超高精度要求。在這裏麵老易淺談一下半導體的超精密加工。
　　我們今天從人機料法環測（cè）六個維度分析，首先聲明老易（yì）本人對於（yú）半導體行業接觸也不是特點多，更多的是通過收集一（yī）些公共信息和對於一些加工認知寫的，對的大家點個讚轉發，錯的大家私聊老易（yì），給老易指（zhǐ）出來。
　　機：對於超精密加工（gōng）來說，首先最重要的一定（dìng）是機了。裝（zhuāng）備不行（háng），我們水平再高也是巧婦難為無米之炊。所以設備非常重要，這裏麵的設備老易在網上找到了一個我也認為比（bǐ）較公正的文（wén）章。作（zuò）為參考。這些設備應該都是（shì）半導（dǎo）體行業的超精密加工的（de）設備。這些設備順序不是排位，隻是老易想到那就寫到那（nà）裏。
　　1.Mikron Mill P係列品牌+GF+這裏麵包括P係列（liè）的三軸機和（hé）P係列的五軸機。在24小時（shí）甚至更長加工時間中，為（wéi）確保加工工件（jiàn）達到優於5微米的高精度，機床則（zé）需要達（dá）到更高的精密性。采（cǎi）用高剛性（xìng）、溫度穩定的（de）床身設計有效（xiào）控製機床加工（gōng）時的溫度和溫度變化，確保工件在長時間加工中（zhōng）變化小於±3µm。同時該品牌（pái）的五軸機的（de）轉台，有使用老易代理的德（dé）國（guó）派士樂五軸轉台。
　　2.德國羅德斯品牌：roeders 200年曆史企業，家族6代企（qǐ）業傳承，主要以超精密（mì）模具為主。大理石床身搭配直（zhí）線電（diàn）機和自己獨有的控（kòng）製係統，加工效率極（jí）高。羅德斯在歐洲為（wéi）高速機之王，該設（shè）備在模具行業擁有大量的客戶。
　　3.瑞士菲爾曼機床品牌FEHLMANN 1930年的家族企業（yè），發展戰略以“專、細”為方向，為保證產品品質機床幾乎所（suǒ）有環節（含主軸）都是以自己生產、研發、組裝為主。
　　4.德國科恩微精技術（shù）有限公司品牌：KERN獨特大理石床身搭配靜浮導（dǎo）軌及直線電機，保證機床（chuáng）定位精度2um，重複定位精度（dù）1um。這個設備實際上在華南使用（yòng）不多，但（dàn）在華南的一（yī）個超級大廠裏麵有很多。
　　5.德國艾（ài）格索品牌exeron德（dé）國艾格索品牌（pái）以從模具放電（diàn）及高端銑削為（wéi）主。產品設計大膽前衛，床身采（cǎi）用高強度大理石龍門結（jié）構（gòu），大理石床身（shēn），線電機驅動完（wán）美機械力學性能，使加工（gōng）工件達到最高精度和表麵質量要求。另外這家公司（sī）的五軸（zhóu）機使用的轉台，就是老易代理的德國派士樂的。
　　6.牧野iQ係列品牌：makino iQ係列（liè）精密設備采用了先進的直線電機設計，0.005微米級光柵尺（chǐ）反饋和無與（yǔ）倫比的元器件溫度控製。主軸：45000，為了確保使用不同刀具到達不同的（de）加工表麵質量的匹配性，iQ3係列機床集成（chéng）了專有（yǒu）的牧（mù）野混合自動刀（dāo）具長度測量係統（HyATLM），確保（bǎo）滿足各種項目的需求！
　　7.日（rì）本（běn）雅司達（亞斯達）品牌：YASDA亞斯達（dá）開發了YMC430微中心，消除了滾（gǔn）珠主軸（zhóu）並采用了直線電機。定位精度為0.1微米適用工件：光學模具、透鏡（jìng）模具、電池油料分離器模具、連（lián）接器模（mó）具、醫用模具（jù）、衝頭模具、塑料（liào）或矽膠（jiāo）模具、齒輪、透鏡用小型模架等（děng）。部分型號禁售中國
　　8.日本東芝UVM-450C品牌：toshiba東芝高速精密加（jiā）工中心裝載空氣靜壓主軸，0.01μm的高精度進（jìn）給結構，0.002μm高分解能力的直線光柵尺、高精（jīng）度直線導軌和直（zhí）線電驅動（dòng）控製技術，是專門為光學配件（jiàn）加工機，半（bàn）導（dǎo）體關聯備件精密加工，超精密加工及其它，中小型（xíng）液晶顯示器用導光板模具加工（gōng）
　　9.日本碌碌微細加工機床品牌：ROKU-ROKU日本碌（lù）碌以（yǐ）“加（jiā）工藝術家”為著（zhe）稱，在日本也稱（chēng）機王。多用於半（bàn）導體、芯片等微（wēi）孔、石墨等超精密加工。
　　10.日本希村品（pǐn）牌HopHet希村超精密細微加工（gōng）中（zhōng）心是1972年（nián）日本隱形冠軍（jun1）株式會社打造的（de）品牌。機身采用水循環冷卻結構（gòu）大理石床身、三軸匹配直（zhí）線電機，42000高轉速，工件加工（gōng）精度（dù）一直穩定2um，主要以半導體（tǐ）、光學模具（jù）行業為主。
　　除了上麵這（zhè）10家外（wài），我（wǒ）們的國內的（de）設備也開（kāi）始在超（chāo）精（jīng）密加工方麵在進（jìn）步和突破，如深（shēn）圳朗恩精密的設備（bèi），也在超精密加工（gōng）方（fāng）麵取得了突破。當然還有很多品牌也都在超精密加工領域裏麵有建樹，這裏麵老易就不一一講述。但不管怎麽樣，目前這些全（quán）球超（chāo）精度的設備一般采用以下技術：
　　1.床（chuáng）身采用大（dà）理石床身技術，礦物鑄件的剛性，礦物鑄件（jiàn）的（de）吸震性，礦物鑄件的（de）熱穩定性。
　　2.采用直線電機，直線電機最大特點是其沒有間隙，因此可以獲得更（gèng）高的運動精度。
　　3.采用大量的冷卻技術，解決溫（wēn）度對（duì）於（yú）機床部（bù）件的影響，不管是鑄鐵還是我們的大理石本質都（dōu）會有變化，隻是大與小的問題。
　　4.采用高精度的光柵，一定是全閉（bì）環的。而且精度級別高於更多通用的級別。
　　環：這個是指我們的加工（gōng）環（huán）境，環境就包括溫（wēn）度、濕度、潔淨度、振動等等。
　　第（dì）一個是溫度（dù）。
　　對於我們的設備（bèi）的使用環（huán）境（jìng）都是有嚴格要求的，老易曾經前往一超精密車間，車間裏麵就有裏麵的米克（kè）朗設備和科恩設備，其設備都是放置在單獨的恒溫單元，並且采用了雙玻璃（lí）。高精度設（shè）備除了自身的溫度控製外，加工環境要求更高。
　　第二個是地基
　　我們很多企業（yè）會忽視對於地基的要求，老易同樣參觀過一家采購了德國的高精（jīng）度設備，其為了（le）給這台設備（bèi）做地基，都用了（le）幾個月，為什（shí）麽幾個月呢，因為之前做出來的地基沒有達到要求，造成了重作。對於地基不僅僅是承載能力、拉伸能力，還有隔（gé）振能力，需要將外部振動的隔斷設（shè）備地基外。
　　法：這個就是我們的工藝了。
　　當（dāng）我們的設備選擇了，環（huán）境（jìng）溫度也控製好了（le），地基也嚴格按照了設備廠家要求（qiú），這（zhè）個時候就（jiù）是加工工藝了。實際上所有的高精度的產品加工時候，都不可以一次做好，都是需要很多（duō）次的加工和熱處（chù）理（lǐ），這個過程是為了將加（jiā）工過程的材料（liào）變化，降到最低。所以如果您要做（zuò）高精（jīng）度的產（chǎn）品（pǐn），一定要找到懂從事高精度產品加工的工藝人（rén）員。
　　測（cè）：就是我們的測量。
　　對於我們超精密加工時候，如果我們（men）都（dōu）沒有辦法（fǎ）測出來時候，那（nà）麽我們怎麽知（zhī）道我們的是否合格，或者怎麽（me）優化。而這個測（cè）的級（jí）別就比我們的加工設備會更高。至少（shǎo）需要高一個級別，我們才有可能（néng）測（cè）出來的。而我們的測（cè）量的設備更需要考慮前麵講的環境。
　　上麵（miàn）我們講了機、環、法（fǎ）、測這個四個維度，另外的人（rén）和料（liào）同樣也會製（zhì）約我們是否能夠（gòu）保證達到精度，當（dāng）然在料的方麵，更多時候是客戶指定出來（lái）的。我們必須嚴格按照要求進行。當我（wǒ）們的加（jiā）工精度上到這個（gè）級別時候，可以每（měi）個要素都是（shì）需要錢的。要打造一個超精密加工，實際上需要（yào）用錢（qián）堆出（chū）來。